相談事例

半導体製造装置
メンテナンス改善事例

case 01

装置搭載後のNGを0％にして欲しい。
（メンテナンス企業は多数あるが、細部までケアできていない）

改善後

使用条件と同一の為、納品、実機搭載後の不具合0％実現。
※装置取付サービス、エクスチェンジ対応も可。

重量物で腰痛を起こしたり無理な体勢で作業する為、部品を破損させたりします。

治具は、安全率２で設計しており取り付けまで一貫し社内で実施可。（安価です）

case 02

装置搭載後のNGを0％にして欲しい。
（メンテナンス企業は多数あるが、細部までケアできていない）

改善後

使用条件と同一の為、納品、実機搭載後の不具合0％実現。
※装置取付サービス、エクスチェンジ対応も可。

弊社エンジニアが、メンテナンスを実施エージング、性能試験は、P-5000（CVD）実機で実施しました。

他メーカー様では試験機を使用しますが、モーターエンコーダー値が読み込めません（実機はエンコーダー値を読み込みエラーを出します）。

2020年も不具合0件継続中です。

半導体製造装置解体、
移設立上げ実績

2011.09

P-5000　CVD解体、移設、立上げ

2011.10

ALLIANCE9600解体、移設、立上げ

2012.02

GSD-A、GSDⅢ-90解体、廃却（3台）

2012.02

NSR解体、移設（5台）

2013.05

GSD、PI-9500、NH20SR解体、廃却（7台）

2013.08

NV-10解体、廃却

2015.11

80XP、350D解体廃却（3台）

2018.01

NSR、C/T(16台）移設+拡散炉解体（1台）

協力企業と連携しながら価格メリットのある提案を実施（他にも協力企業とのコラボによる移設、立上げ等有）